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真空卡盘装置制造方法及图纸
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文档序号:16113353
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本发明涉及一种真空卡盘装置,所述真空卡盘包括真空卡盘构成部和框架,所述真空卡盘构成部使得在腔室所生成的吸入压力能够在吸附部的整体面上均匀地产生,从而能够使得用于实施作业或实验的对象物更加稳定地得到安装,所述框架使得所述真空卡盘构成部以保持作...
该专利属于朴佑泰所有,仅供学习研究参考,未经过朴佑泰授权不得商用。
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