温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种半导体晶片输送装置包括：框架；输送臂，其可移动地安装到所述框架，并且具有可移动地安装到所述臂的至少一个末端执行器，使得所述至少一个末端执行器与所述臂作为一个单元相对于所述框架沿第一方向横向运动，并且相对于所述输送臂沿第二方向线性横向运动...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。