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一种包含多个M的扫描仪(3i)的投射曝光系统(1)的照明系统(19)的辐射源模块(2)，包含输出耦合光学单元(9)，其包含至少一个装置，用于将具有总强度的集中输出光束(8)划分为具有单独强度的多个(M)单独输出光束(10i)，其中划分集中输...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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