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一种EUV投射光刻的照明光学单元(7)，用于以照明光(3)照明物场(8)。在物体位移方向(y)上可位移的待成像物体(19)可布置于物场(8)中。传输光学单元(14)通过照明通道，以叠加于彼此上的方式将场分面反射镜(5)的场分面成像至物场(8...
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