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本发明涉及一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块,其特征在于所述的三轴磁场探测模块,三个方向相互正交,分别对应空间的XYZ方向,对每一个方向的磁场测量由多个通道超导SQUID磁传感器器件完成;多个通道超导SQUID传感器构成串联阵...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本发明涉及一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块,其特征在于所述的三轴磁场探测模块,三个方向相互正交,分别对应空间的XYZ方向,对每一个方向的磁场测量由多个通道超导SQUID磁传感器器件完成;多个通道超导SQUID传感器构成串联阵...