基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块制造技术
【技术实现步骤摘要】
基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块
本专利技术涉及超导SQUID磁传感器对地球磁场的测量，更确切地说本专利技术涉及一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块。属于磁场测量
技术介绍
超导量子干涉器（SQUID）是一种由超导约瑟夫森结和超导环组成的超导量子器件，它的工作原理主要基于约瑟夫森效应和磁场量子化，其能够将磁场的微弱变化转化为可测量的电压，磁场灵敏度可达到fT量级，是目前最灵敏的磁场传感器，因此其在微弱磁场探测领域如生物磁场探测、无损检测、地球磁场探测等方面具有极大的发展和应用潜力。例如在地球物理探测中的大地电磁测深（Magnetotelluric，MT）和可控源音频大地电磁测深（CSAMT）应用中都需要高性能的磁场传感器来对目标磁场信号进行测量。MT是对天然存在的区域性电磁场进行探测，这类天然电磁场具有很宽的频带，通过对这些天然电磁场的测量和数据分析，可了解地球岩石圈的电性结构，是研究深部地质构造和寻找油气田的基本勘探方法之一，近年来MT得到了很大的发展。由于MT天然场源的信号微弱，因此在应用中需要使用高灵敏度的磁传感器。CSAM...
【技术保护点】
一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块的制作方法，其特征在于采用从上而下的方式制作，所述的三轴磁探测模块分为载体和器件两大部分，而且载体和器件制作可以分开并行完成；在制作模块的过程中，先分别完成载体和超导SQUID磁传感器器件制作，然后将这两部分集成在一起，构成3轴模块；2×2通道的具体制作步骤是：首先，确定三轴模块的尺寸参数，根据由模块提供低温环境的杜瓦尺寸确定模块尺寸，模块的尺寸与载体的尺寸相同，通常模块的载体设计为立方体结构，载体材料的选择是在低温环境下性能稳定的环氧材料，并利用机械加工技术制造出立方体载体，在载体上制作出螺孔辅助的机械结构；在制作完成后，测...
【技术特征摘要】
1.一种基于多通道SQUID磁传感器的三轴磁探测模块的制作方法，其特征在于采用从上而下的方式制作，所述的三轴磁探测模块分为载体和器件两大部分，而且载体和器件制作可以分开并行完成；在制作模块的过程中，先分别完成载体和超导SQUID磁传感器器件制作，然后将这两部分集成在一起，构成3轴模块；2×2通道的具体制作步骤是：首先，确定三轴模块的尺寸参数，根据由模块提供低温环境的杜瓦尺寸确定模块尺寸，模块的尺寸与载体的尺寸相同，通常模块的载体设计为立方体结构，载体材料的选择是在低温环境下性能稳定的环氧材料，并利用机械加工技术制造出立方体载体，在载体上制作出螺孔辅助的机械结构；在制作完成后，测量立方体的表面平整度和各平面之间的角度，比对设计参数，调整并减小载体的结构误差；第二，在载体制作的同时，利用...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐婷，王会武，荣亮亮，常凯，侍文，蒋坤，邱隆清，伍俊，谢晓明，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：上海,31
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