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本发明提供一种化学机械研磨机台、温度控制系统及其温度控制方法。所述温度控制系统包括依次通讯连接的采集单元、控制单元以及执行单元。所述温度控制方法包括：所述采集单元采集化学机械研磨过程中的研磨垫的温度信息；所述控制单元根据所述研磨垫的温度信息...
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