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本发明提供一种基板处理装置，其包括：腔体、基板保持单元、升降部件和升降驱动单元。腔体具有底板，该底板具有隔开收纳空间的上表面。基板保持单元被收纳于收纳空间并且载放于底板的上表面，并且用于保持基板。升降部件在收纳空间内升降。升降驱动单元驱动升...
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