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本发明涉及等离子体源的室构件和有移动衬底C形环的升降销的基座。提供了一种等离子体源的室构件，其包括侧壁、过渡构件、顶壁和注射器连接构件。所述侧壁是圆筒形的并且围绕衬底处理室的上部区域。所述过渡构件连接到所述侧壁。所述顶壁连接到所述过渡构件。...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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