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本发明提供一种用于蚀刻均匀性控制的可变深度边缘环。衬底支撑件包括布置成支撑衬底的内部部分、围绕内部部分的边缘环以及计算衬底支撑件的期望凹坑深度的控制器。凹坑深度对应于边缘环的上表面和衬底的上表面之间的距离。基于期望凹坑深度，控制器选择性地控...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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