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自对准栅极后制III‑N晶体管制造技术
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文档序号:16049592
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论述了与具有自对准栅极的III‑N晶体管、包含这种晶体管的系统及用于形成这种晶体管的方法有关的技术。这种晶体管包括:位于凸起源极和凸起漏极之间的极化层;位于源极和漏极之间并在极化层之上的栅极;以及在源极和漏极之上并且在其间具有开口的横向外延...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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