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测量目标结构的属性的方法、检查设备、光刻系统和器件制造方法技术方案
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下载测量目标结构的属性的方法、检查设备、光刻系统和器件制造方法的技术资料
文档序号:16048616
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基于目标的图像的强度测量目标结构的属性。方法包括(a)获得目标结构的图像;(b)限定(1204)多个候选感兴趣区域,各候选感兴趣区域包括在图像中的多个像素;(c)至少部分基于在感兴趣区域内的像素的信号值来限定(1208,1216)用于候选感...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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