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公开了一种具有高数值孔径、大工作距离和跨越宽光谱带波长的低光学像差的物镜系统。物镜系统包括第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组。第一透镜组包括被定位成沿着物镜系统的光轴彼此相距一距离的第一和第二弯月透镜。距离可以取决于物镜系统的焦距。第二透镜...
该专利属于ASML控股股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML控股股份有限公司授权不得商用。

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