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碳化硅单晶的制造方法技术
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文档序号:16047376
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准备具有筒状内表面(10)的坩埚(5)。以与内表面(10)接触的方式布置原料(12),并在坩埚(5)内以面对原料(12)的方式布置晶种(11)。通过使原料(12)升华而在晶种(11)上生长碳化硅单晶(20)。内表面(10)由包围原料(12)...
该专利属于住友电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过住友电气工业株式会社授权不得商用。
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