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本发明涉及一种氧化方法制备氧化钛热敏层的红外探测器，其支撑层的桥面区域设有氧化钛薄膜，氧化钛薄膜为半导体，其连接金属及支撑层的桥腿区域设有与氧化钛薄膜处于同一层的钛薄膜，所述钛薄膜上设有第一保护层，氧化钛薄膜和第一保护层上设有第二保护层，还...
该专利属于烟台睿创微纳技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过烟台睿创微纳技术股份有限公司授权不得商用。

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