下载通过部分熔化升高的源极‑漏极的晶体管的脉冲激光退火工艺的技术资料

文档序号:16040419

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一种包括部分熔化的提高半导体源极/漏极的非平面晶体管,所述提高半导体源极/漏极被设置在半导体鳍状物的相对端上,其中,栅极堆叠设置于所述相对端之间。所述的升高的半导体源极/漏极包括处于熔化深度以上的超活化掺杂剂区以及处于熔化深度以下的活化掺杂...
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