下载半导体功率元件的技术资料

文档序号:16040414

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本发明公开一种半导体功率元件,包含:基板;主动区,具有凹陷区,位于基板上方;第一导电型半导体层,位于凹陷区上方,不与凹陷区相互重叠;栅极,位于该主动区上方,部分设置于凹陷区中;一介电层,位于主动区与栅极之间;以及二维电子气,形成于主动区之中...
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