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本发明提供一种基板排列方法和装置、基板接收方法和装置、基板液处理方法和装置以及基板处理系统。即使基板产生翘曲(变形)，也防止基板与基板支承体接触、基板彼此接触。在本发明中，能够使基板支承体(39)从与沿着基板(8)的外周端局部地上翘的位置(...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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