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下载简易光刻机的技术资料

文档序号:16037117

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本发明涉及一种简易光刻机,包括箱体,箱体顶部设置有盒体,盒体内设置有电源,箱体一侧设置铰接有开关门,箱体内部上侧设置有高压汞灯,箱体内底部设置有电动转盘,高压汞灯、电动转盘均与电源电性连接,箱体下部设置有进风口,上部设置有出风口,开关门上设...
该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。

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