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一种光电转换装置，包括光电探测器、共面波导和光耦合结构，其中，光电探测器，倒装焊于共面波导的表面，以使光电探测器的电极与共面波导的传输线连接；光耦合结构，用于将传输的信号光耦合到光电探测器的光敏面。光耦合结构包括V型槽基板和至少一根45°斜...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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