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缺陷检测装置和缺陷检测方法制造方法及图纸
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文档序号:16036390
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提供缺陷检测装置和缺陷检测方法。一实施方式的缺陷检测装置具备:测定部,测定向被检查装置输入信号之后到接收由被检查装置的缺陷部位反射的反射信号为止的第1时间;存储部,存储表示与多个部件或多个部分分别相应的传导特性的多个模型数据;控制部,对于被...
该专利属于株式会社东芝所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社东芝授权不得商用。
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