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一种与工艺腔室一起使用的气体分散设备，该气体分散设备包括：石英主体，该石英主体具有顶部、环和底板，该环耦接顶部的底表面，该底板具有多个分散孔相对于顶部耦接该环；多个石英板，所述多个石英板设置于顶部与底板之间，其中多个板被定位在彼此上方并间隔...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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