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本发明涉及材料沉积的改进方法。用于带电粒子处理的方法和装置包括形成由至少两种材料构成的保护层。这两种材料可以混合在一起或可以作为分开的层沉积。其已经根据样品的材料性质配制和布置。...
该专利属于FEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FEI公司授权不得商用。

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