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氮化镓基板的生成方法技术
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文档序号:16025164
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提供氮化镓基板的生成方法,不浪费地从氮化镓(GaN)锭生成大量的氮化镓基板。该氮化镓锭具有第1面和处于第1面的相反侧的第2面,该氮化镓基板的生成方法包含如下的工序:界面形成工序,从第1面将对于氮化镓具有透过性的波长的激光光线的聚光点定位在氮...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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