下载集成芯片及其形成方法的技术资料

文档序号:15958116

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本发明涉及具有双电源轨结构的集成芯片。在一些实施例中,集成芯片具有第一金属互连层,该第一金属互连层具有在第一方向上延伸的下金属布线。第二金属互连层具有通过第一通孔层耦合至下金属布线并且在下金属布线上方在垂直于第一方向的第二方向上延伸的多个连...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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