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用于减小半导体器件中的热机械应力的方法以及对应器件技术
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下载用于减小半导体器件中的热机械应力的方法以及对应器件的技术资料
文档序号:15958052
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在一个实施例中,一种半导体器件包括一个或多个金属化层,诸如例如Cu‑RDL金属化层,设置在电介质层之上的钝化层上。在金属化层的角部附近穿过钝化层和电介质层提供过孔。过孔可以是不具有去往有源器件的电连接的“虚设”过孔,并且可以设置在距位于下方...
该专利属于意法半导体股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过意法半导体股份有限公司授权不得商用。
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