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功率整流二极管的制法制造技术
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下载功率整流二极管的制法的技术资料
文档序号:15957978
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一种功率整流二极管的制法,包含提供一第一导电型的基板,该基板具有一主动区与一终端区;在该基板上形成一层氧化层;搭配同一道光罩蚀刻该氧化层,以形成一第一开口与一第二开口;形成一多晶硅层与一第一阻挡层;于该基板对应于该第一开口处进行掺杂制程以形...
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