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本申请公开了一种基板载具，包括：承载主体，所述承载主体用于承载基板，所述基板的第一表面与所述承载主体贴合；第一磁体，所述第一磁体沿与基板的第一表面平行的方向滑动设置在所述承载主体上，所述第一磁体对所述基板产生与基板的第一表面垂直的第一磁力，...
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