下载具有原位清洁能力的旋转卡盘的技术资料

文档序号:15940966

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本发明涉及具有原位清洁能力的旋转卡盘。在用于处理晶片状物品的方法和装置中,旋转卡盘定位在处理室内部。所述旋转卡盘被配置成将晶片状物品保持在预定处理位置。盖覆盖所述旋转卡盘并且固定到所述旋转卡盘或与所述旋转卡盘成一体以与其一起旋转。所述盖具有...
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