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用于相变存储器元件的阻挡膜技术与构造制造技术
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文档序号:15920101
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本公开的实施例描述了用于相变存储器元件的阻挡膜技术和构造。在实施例中,装置包括多个相变存储器(PCM)元件,其中所述多个PCM元件中的单独的PCM元件包括:底部电极层、设置在所述底部电极层上的选择器件层、设置在所述选择器件层上的中间电极层、...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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