下载用于射频应用的结构的技术资料

文档序号:15919908

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本发明涉及一种用于射频应用的结构(1),其包括:半导体支撑衬底(2);捕获层(3),其布置在支撑衬底(2)上;捕获层(3)的特点在于其包括比预定缺陷密度更高的缺陷密度;所述预定缺陷密度为这样的缺陷密度:超过该缺陷密度,捕获层(3)的电阻率在...
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