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本发明提供用于确定由检验子系统产生的输出在设计数据空间中的位置的方法及系统。一种方法包含：从样本的设计选择一或多个对准目标。所述一或多个对准目标的至少一部分包含内建目标，其包含于所述设计中以用于除使检验结果对准到设计数据空间之外的用途。所述...
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