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公开了一种具有防焊盘剥离结构的半导体器件。该半导体器件包括具有衬底穿孔(TSV)的半导体衬底;半导体衬底上且包括其中的多个凹槽的介电层;以及位于半导体衬底之上以覆盖介电层部分和延伸至凹槽的焊盘;其中,焊盘延伸至多个凹槽,以及在焊盘和导电层之...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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公开了一种具有防焊盘剥离结构的半导体器件。该半导体器件包括具有衬底穿孔(TSV)的半导体衬底;半导体衬底上且包括其中的多个凹槽的介电层;以及位于半导体衬底之上以覆盖介电层部分和延伸至凹槽的焊盘;其中,焊盘延伸至多个凹槽,以及在焊盘和导电层之...