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一种均热板及具有该均热板的微电子器件制造技术
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下载一种均热板及具有该均热板的微电子器件的技术资料
文档序号:15897435
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本发明公开了一种均热板,包括底板、顶板和连接于所述顶板与所述底板之间的侧板,所述顶板、所述底板和所述侧板之间围成密闭空腔,所述密闭空腔内填充有蒸发工质;所述顶板的内表面设置有阵列排布的微米级凸台,所述凸台的侧壁与所述顶板的内表面均为超疏水表...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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