下载晶片的加工方法的技术资料

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提供晶片的加工方法,当在晶片的内部沿着分割预定线层叠多层改质层而进行分割时,通过对从初期改质层朝向正面成长的裂纹的方向进行限制,能够对分割面的弯曲行进进行抑制。一种晶片的加工方法,该晶片的加工方法包含如下的工序:初期改质层形成工序,将对于晶...
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