下载鳍状场效晶体管的技术资料

文档序号:15879558

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本发明实施例提供一种鳍状场效晶体管,包括衬底、至少一栅极结构、多个间隔物以及源极区与漏极区。所述衬底具有多个鳍片以及多个绝缘体位于多个鳍片之间。源极区与漏极区设置于至少一栅极结构的两个相对侧边。栅极结构设置并覆盖于多个鳍片与多个绝缘体上方。...
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