下载半导体装置及其制造方法的技术资料

文档序号:15879552

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本发明提供一种半导体装置及其制造方法,用于提高具备RC‑IGBT的半导体装置的性能。在半导体基板(SB)的背面(Sb)和背面电极(CE)之间形成AlNiSi层(ML)(包含铝(Al)、镍(Ni)以及硅(Si)的层)。由此,能够在构成内置二极...
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