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一种具有三级放大机构的微位移定位平台制造技术
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下载一种具有三级放大机构的微位移定位平台的技术资料
文档序号:15879357
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本发明涉及一种具有三级放大机构的微位移定位平台,包括固定机架、位移输入平台、运动输入机构、两组第一级杠杆机构、两组第二级杠杆机构以及一个半桥式放大机构,两组第一级杠杆机构和两组第二级杠杆机构分别对称,并且第一级杠杆机构和第二级杠杆机构的支点...
该专利属于上海工程技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海工程技术大学授权不得商用。
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