一种具有三级放大机构的微位移定位平台制造技术

本发明专利技术涉及一种具有三级放大机构的微位移定位平台，包括固定机架、位移输入平台、运动输入机构、两组第一级杠杆机构、两组第二级杠杆机构以及一个半桥式放大机构，两组第一级杠杆机构和两组第二级杠杆机构分别对称，并且第一级杠杆机构和第二级杠杆机构的支点均与固定机架传动连接，运动输入机构的两端分别连接固定机架和位移输入平台，两组第一级杠杆机构的输入端分别与位移输入平台传动连接，输出端分别与相应的第二级杠杆机构的输入端传动连接，半桥式放大机构连接在两组第二级杠杆机构的输出端之间。本发明专利技术依靠两级杠杆机构和一级桥式机构的复合串联，解决了现有技术中位移放大比低以及存在寄生位移等问题，实现运动平台的大范围精密定位。

A micro displacement positioning platform with three stage amplification mechanism

The present invention relates to a three level amplification mechanism of micro positioning platform, including fixed frame, displacement input platform, motion input mechanism, two groups of the first level two group second lever mechanism, a lever mechanism and a half bridge amplification mechanism, two groups of the first level and two level second lever mechanism of lever mechanism are respectively symmetric group the first stage, and the fulcrum lever mechanism and second lever mechanism are in transmission connection with the fixed frame, both ends of the input motion mechanism is respectively connected with the fixed frame and the displacement input platform, two groups of the first input end of the lever mechanism respectively and the displacement input platform transmission connection, the output end of the input end of the transmission lever mechanism respectively and second corresponding the connection between the output terminal of the half bridge amplification mechanism is connected to the two group of second lever mechanism. The invention solves the problems of low displacement amplification ratio and parasitic displacement in the prior art by the compound series connection of the two lever mechanism and the first stage bridge type mechanism, and realizes the large range precise positioning of the moving platform.

【技术实现步骤摘要】
一种具有三级放大机构的微位移定位平台
本专利技术属于精密微位移驱动系统
，具体涉及一种具有三级放大机构的微位移定位平台。
技术介绍
以压电陶瓷驱动器和柔性机构分别作为微位移驱动和导向部件的精密定位平台在微机电系统、扫描探针显微镜、超精密加工、光学调整以及生物细胞操作等诸多领域有着广泛应用。但压电陶瓷驱动器输出位移较小，输出位移与其尺寸比值仅为10μm/cm，因此为了满足大位移的应用场合，通常需要借助柔性放大机构来扩大其输出位移。常用的位移放大机构有杠杆式机构和桥式机构等，目前，商业上常用的微位移定位平台大多只采用一级或二级放大机构，位移放大比较小，难以实现毫米级位移的输出。因此，专利技术具有高位移放大比的微位移定位平台对于实际应用具有较大的意义。中国专利CN104464838A，公开了一种Z轴负向放大一维精密定位平台。但该技术中，只采用一级桥式放大机构，放大比较小。中国专利申请号201510289096.2，公开号CN104967356A，名称为“无过约束型微位移放大机构”的专利申请，以及中国专利申请号201410123284.3，公开号CN103883849A，名称为“大行程本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有三级放大机构的微位移定位平台，其特征在于，包括固定机架、位移输入平台、运动输入机构、两组第一级杠杆机构、两组第二级杠杆机构以及一个半桥式放大机构，一组第一级杠杆机构和第二级杠杆机构位于位移输入平台一侧，另一组第一级杠杆机构和第二级杠杆机构设置在相对于输入平台对称的另一侧，所述的第一级杠杆机构和第二级杠杆机构的支点均与固定机架传动连接，运动输入机构的两端分别连接固定机架和位移输入平台，两组第一级杠杆机构的输入端分别与位移输入平台传动连接，输出端分别与相应一侧的第二级杠杆机构的输入端传动连接，第二级杠杆机构将第一级杠杆机构输出的垂直方向的位移转化为水平方向的位移，所述的半桥式放大机构连接在...

【技术特征摘要】
1.一种具有三级放大机构的微位移定位平台，其特征在于，包括固定机架、位移输入平台、运动输入机构、两组第一级杠杆机构、两组第二级杠杆机构以及一个半桥式放大机构，一组第一级杠杆机构和第二级杠杆机构位于位移输入平台一侧，另一组第一级杠杆机构和第二级杠杆机构设置在相对于输入平台对称的另一侧，所述的第一级杠杆机构和第二级杠杆机构的支点均与固定机架传动连接，运动输入机构的两端分别连接固定机架和位移输入平台，两组第一级杠杆机构的输入端分别与位移输入平台传动连接，输出端分别与相应一侧的第二级杠杆机构的输入端传动连接，第二级杠杆机构将第一级杠杆机构输出的垂直方向的位移转化为水平方向的位移，所述的半桥式放大机构连接在两组第二级杠杆机构的输出端之间。2.根据权利要求1所述的一种具有三级放大机构的微位移定位平台，其特征在于，所述的第一级杠杆机构包括第一刚性杆、第一柔性铰链和第二柔性铰链，第一刚性杆的一端作为第一级杠杆机构的支点与固定机架通过第二柔性铰链传动连接，第一刚性杆的另一端作为第一级杠杆机构的输出端与第二级杠杆机构的输入端传动连接，第一刚性杆两端之间的一点作为第一级杠杆机构的输入端与位移输入平台通过第一柔性铰链传动连接。3.根据权利要求2所述的一种具有三级放...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖磊捷，
申请(专利权)人：上海工程技术大学，
类型：发明
国别省市：上海,31