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钽化合物、制造集成电路器件的方法、和集成电路器件，所述钽化合物由以下通式(I)表示，其中R...
该专利属于三星电子株式会社;株式会社ADEKA所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社;株式会社ADEKA授权不得商用。

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