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在本发明实施例中,一种半导体器件包括具有多个孔的板。半导体器件还包括与板相对设置并且包括多个波纹的膜、围绕并覆盖膜一个边缘的电介质和衬底。半导体器件还包括金属导体,金属导体包括延伸穿过电介质的第一部分和位于衬底上方的第二部分,其中,第二部分...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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在本发明实施例中,一种半导体器件包括具有多个孔的板。半导体器件还包括与板相对设置并且包括多个波纹的膜、围绕并覆盖膜一个边缘的电介质和衬底。半导体器件还包括金属导体,金属导体包括延伸穿过电介质的第一部分和位于衬底上方的第二部分,其中,第二部分...