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本发明提供一种具有提升销组件的基板处理装置，其特征在于，包括：腔室主体，形成收容基板从而处理的内部空间；加热器单元，配置于所述腔室主体的内部空间，上面安置有所述基板并且形成第1提升销槽部；及提升销组件，具备提升销单元，提升销单元将所述加热器...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。

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