下载半导体结构及其制造方法的技术资料

文档序号:15865977

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本发明的实施例提供了半导体结构及其形成方法。该方法包括:提供第一半导体工件;在半导体工件的第一表面上沉积第一膜;在对预定波长范围内的光具有透射性的衬底上沉积第二膜;以及在预定接合温度和预定接合压力下将第一膜接合至第二膜。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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