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本公开内容涉及用于处理腔室的适配器和灯组件。在一个实施方式中，所述适配器包括：中空主体，所述中空主体具有第一端部和第二端部，所述第二端部与所述第一端部相反；第一块体和第二块体，所述第一块体和所述第二块体关于所述主体的纵轴对称设置在所述中空主...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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