温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种双室磁控蒸发真空设备，涉及一种镀膜设备技术领域。该实用新型包括真空室、蒸发室和磁控室，蒸发室设置在真空室内左侧，磁控室设置在真空室内右侧，蒸发室和磁控室之间通过传递机构连接，传递机构包括传递轨道、磁力短轴和传递小车，传递小...
该专利属于沈阳聚智真空设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳聚智真空设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。