下载一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺的技术资料

文档序号:15820749

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本发明涉及一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺,包括平面光源以及垂直平面光源的照射方向并沿平面光源的照射方向依次排列的光学透镜、标尺光栅、光电传感器阵列,其中,所述光电传感器阵列在光栅尺的宽度方向上呈阶梯状布置,且光电传感器阵列中的每个...
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