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一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺制造技术
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文档序号:15820749
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本发明涉及一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺,包括平面光源以及垂直平面光源的照射方向并沿平面光源的照射方向依次排列的光学透镜、标尺光栅、光电传感器阵列,其中,所述光电传感器阵列在光栅尺的宽度方向上呈阶梯状布置,且光电传感器阵列中的每个...
该专利属于广东工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过广东工业大学授权不得商用。
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