一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺制造技术

本发明专利技术涉及一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺，包括平面光源以及垂直平面光源的照射方向并沿平面光源的照射方向依次排列的光学透镜、标尺光栅、光电传感器阵列，其中，所述光电传感器阵列在光栅尺的宽度方向上呈阶梯状布置，且光电传感器阵列中的每个光电传感器逐一错开；本发明专利技术的光栅尺测量速度快，精度高，传感器信号的灵敏度高，不需要图像处理，所获得相位差一直的脉冲序列，可以通过移位电路，快速获得脉冲数量和方向，实现位移信息的快速处理。

A grating grating with high sensitivity for step type photoelectric sensor array

The invention relates to a ladder shaped grating array of photoelectric sensor with high sensitivity, including plane light source and illumination direction perpendicular to the plane of the light plane and along the light direction of sequential optical lens, grating ruler, photoelectric sensor array, wherein the photosensor array in the width direction of the grating on the ladder arrangement, and each of the photoelectric sensor photoelectric sensor array in a staggered one by one; the invention of the grating measurement speed, high precision, high sensitivity of the sensor signal, without the need of image processing, the phase difference pulse sequence has been, by shifting circuit, pulse number and direction of rapid access, to achieve fast processing of displacement information.

【技术实现步骤摘要】
一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺
本专利技术涉及测量的
，尤其涉及到一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺。
技术介绍
在精密测量中，光栅尺作为重要的工具，利用光栅的光学原理，进行精密位移或角度测量。现有光栅尺主要有增量光栅尺和绝对光栅尺两种，其中，增量光栅尺利用等间距的刻线产生明暗相间的莫尔条纹，通过数条纹数量，对移动的距离进行计数。根据测量精度要求可以对条纹进行细分。然而，当分辨率高时，在高速运动时产生丢步。绝对光栅尺虽然不丢步，但是需要通过图像处理识别编码，速度慢。申请人在先专利技术提出了一种纵横转换放大光栅尺，将宽度方向的细分转到长度方向，提高了分辨率，保持相对光栅尺优势基础上，在细分方面提高了分辨率。其处理方法一种是图像处理，效率较低。另一种是通过线阵光栅尺旋转一个角度，通过各像素传感器与栅纹覆盖的先后顺序确定位置，效率高。然而，由于光电传感器与栅纹成一夹角φ，两端的接触面积与位移x的关系为0.5×x2/|[tan(φ)+cot(φ)]，呈非线性关系如图2所示(A处和C处呈非线性关系，P处呈线性关系)，所对应的脉冲序列如图3，该传感器信号的灵敏度较差。专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺，包括平面光源(1)以及垂直平面光源(1)的照射方向并沿平面光源(1)的照射方向依次排列的光学透镜(3)、标尺光栅(2)、光电传感器阵列(4)，其特征在于：所述光电传感器阵列(4)在光栅尺的宽度方向上呈阶梯状布置，且光电传感器阵列(4)中的每个光电传感器逐一错开。

【技术特征摘要】
1.一种阶梯形光电传感器阵列高灵敏度的光栅尺，包括平面光源(1)以及垂直平面光源(1)的照射方向并沿平面光源(1)的照射方向依次排列的光学透镜(3)、标尺光栅(2)、光电传感器阵列(4)，其特征在于：所述光电传感器阵列(4)在光栅尺的宽度方向上呈阶梯状布置，且光电传感器阵列(4)中的每个...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，李彦锋，陈新，陈桪，高健，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东,44