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本发明公开了一种电磁感应加热外延炉的双面基座结构，包括表面涂覆有碳化硅涂层的石墨基座，该石墨基座的上表面具有若干个绕轴心均布的片坑，在所述石墨基座的下表面具有与每一片坑相对应的凸台。该双面基座结构可以满足常温装片，在高纯气氛条件下，外延生长...
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