下载一种提高光电芯片封测通量的方法和装置的技术资料

文档序号:15722590

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本发明公开了一种提高光电芯片封测通量的方法和装置,该装置包括光学探测器、两个以上样品测量承载台、样品机械传输部件、以及控制器,还包括:两个以上光纤耦合器,用于采集样品承载台上的封装芯片所发出的光线,其中,每个样品测量承载台上方对应设置一个光...
该专利属于朱干军所有,仅供学习研究参考,未经过朱干军授权不得商用。

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