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本发明公开了一种超低介电常数聚酰亚胺的制备方法。该方法是将γ－氨丙基三乙氧基硅烷偶联剂加入到多金属氧酸盐水溶液中，制备多金属氧酸盐／硅烷杂化材料；然后将其加入到聚酰胺酸溶液中搅拌２０～２４小时后，涂膜，真空度为－０．１ＭＰａ的真空条件下８０...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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